Почему популярна продукция Apple 
Юбилей известного мыслителя 
Господская наука исключена из школы 
Магазин образа жизни Меган заработал 
Компартия вернула крепостничество в Россию... 
Гималайское озеро Роопкунд — кладбище 500 человек, которое хранит свою тайну 
Назад, в прошлое 
Фото дня, 24 апреля 1967 года 
Кто не скачет, тот... или Возможен ли сейчас российский Майдан?
24.10.2013 —
Два китайских Saab
Новости в области "макроэлектроники."
engineering_ru — 26.10.2013
Оригинал взят у 
solar_front в Готовы ли Вы клеить
телевизор как обои на всю стену?
Это касается нас всех: грядет новая волна в области
дисплеев.
Материалы и технологии использовавшиеся в последнее десятилетие для сотовых, мониторов и телевизоров исчерпали себя: они не позволяют делать дисплеи больше и четче. Поэтому эта новость важна.
AMAT (Applied Materials) это чрезвычайно большой и потому важный игрок на рынке оборудования для производства ваших падов и моников.
Applied Materials начал предлагать три новых установки предназначенных для получения тонкопленочных транзисторов (TFT) на основе металлических окислов. Одна установка PECVD (Plasma-enhanced chemical vapor deposition ) и две PVD (Physical vapor deposition ), имеют новый дизайн и техпроцесс, которые позволяют лучшую однородность пленок с меньшим количеством дефектов и разработаны для производства IGZO транзисторов. Производство дисплеев в настоящий момент переключается TFT основанные на металлических оксидах, и IGZO (индийцинковая окись галлия). Переход осуществляется потому, что требуется большее разрешение дисплеев чем 300 dpi. Производители дисплеев постеперрно переходят от TFT переключателей на основе аморфного кремния к транзисторам на металлических окислах или к поликремнию полученному при низкой температуре (LTPS), которые предлагают более высокую подвижность носителей заряда. Они также потребляют меньше энергии, что важно в мобильных устройствах. Кроме того они меньше размером и блокируют меньше света в пикселе.
(Поперечное сечение TFT. От TFT на аморфном кремнии (a-Si:H) к новым материалам: IGZO и LTPS. GI = gate insulator)
Материалы и технологии использовавшиеся в последнее десятилетие для сотовых, мониторов и телевизоров исчерпали себя: они не позволяют делать дисплеи больше и четче. Поэтому эта новость важна.
AMAT (Applied Materials) это чрезвычайно большой и потому важный игрок на рынке оборудования для производства ваших падов и моников.
Applied Materials начал предлагать три новых установки предназначенных для получения тонкопленочных транзисторов (TFT) на основе металлических окислов. Одна установка PECVD (Plasma-enhanced chemical vapor deposition ) и две PVD (Physical vapor deposition ), имеют новый дизайн и техпроцесс, которые позволяют лучшую однородность пленок с меньшим количеством дефектов и разработаны для производства IGZO транзисторов. Производство дисплеев в настоящий момент переключается TFT основанные на металлических оксидах, и IGZO (индийцинковая окись галлия). Переход осуществляется потому, что требуется большее разрешение дисплеев чем 300 dpi. Производители дисплеев постеперрно переходят от TFT переключателей на основе аморфного кремния к транзисторам на металлических окислах или к поликремнию полученному при низкой температуре (LTPS), которые предлагают более высокую подвижность носителей заряда. Они также потребляют меньше энергии, что важно в мобильных устройствах. Кроме того они меньше размером и блокируют меньше света в пикселе.
(Поперечное сечение TFT. От TFT на аморфном кремнии (a-Si:H) к новым материалам: IGZO и LTPS. GI = gate insulator)
LG уже начала поставки 55 дюймого OLED телевизора с TFT на оксидах металла и в 2014 основные игроки тоже начнут переход к оксидам материалам.
Слои в транзисторе IGZO (см рисунок - структура справа-вверху) получена с помощью PVD и РЕCVD. Рисунок 2 показывает поперечное сечение устройства. При помощи PVD "пылится" затвор транзистора (Gate) на стеклянной подложке. Изолятор поверх затвора осажден в PECVD. IGZO и ESTL - PVD. Сток и исток, а также пассивация в конце - снова РЕCVD.
Итак, как выглядит "новая":) машина от AMAT - Applied AKT 55KS PECVD:
(т.к. я "целовал" эту коробку два года, то добавлю: Справа - это Load-lock причем двойной (верх и низ - разные камеры) для огромных стеклянных подложек 2.2 м на 2.5 м. Светлые блоки сверху - это камеры осаждения, под камерами - управление и нагрев/охлаждение электрода. Между камерами находится вакуумная камера с роботом для транспортировки стеклянных "подложек" в 6 кв. м.)
Чтобы дать Вам представление об этой "микроэлектронике" приведу картинку другой модификации от AMAT (хотя на самом деле это корейские камеры :)):
Устройство камеры осаждения:
То, что на рисунке скромно обозначено как дефлектор - на самом деле огромная плата с отверстиями для газа участвующего в процессе осаждения. Эта алюминиваямая плата настолько сложна, что в ней нет одинаковых отверстий (диаметр входного отверстия 0.8, выходного около 8 мм). А т.к. отверстия расположены вплотную их там тысячи. Но это не все рельеф платы сложен и в горизонтальной плоскости с точностью до микрометра.
Очевидно, что такие навороты не дешевы. Стоимость такого электрода - многие сотни тысяч $. Да и на моей памяти я не помню детали из этих камер дешевле 50 к$.
Теперь о PVD установке. - Applied AKT-PiVot 55K DT. Система использует не плоские, вращающие катоды. Последние более эффективно распыляют материал мишени, обеспечивают большую однородность получаемой пленки. Насколько "чиста" работавшая мишень красноречиво показывает фото:
(хотя справедливости ради надо сказать, что AMAT видимо долго искал столь грязную для плоского катода и похоже на то, что это пленка у электрической дуги, где говорить об однородности нельзя).
Не будем забывать, что производители дисплеев спят и видят добраться первыми до сундука с сокровищами в виде производства гибких дисплеев. Скорей бы уже: вот когда производители оборудования по нанесению пленок озолотятся!
Сохранено
|
|
</> |
Оставить комментарий
Популярные посты:
Предыдущие записи блогера :
Архив записей в блогах:
Суд Техаса обязал компанию Google заплатить 5 миллионов долларов американской компании Bedrock, которая подала иск против Google за нарушение прав на их собственность в Linux-продуктах. Bedrock уже направили другие иски по подобному делу в другие крупные ...
Первый пошел. Лейтенант Саудовских ВВС Мешад Саад-аль-Бостани, который входил в число 15 человек, которые прибыли в Турцию для убийства "оппозиционера" Хашогги в саудовском консульстве, погиб в автокатастрофе в Эр-Рияде. Его личность была раскрыта турецкими спецслужбами, вскоре после ...
В правительстве задумались о введении акциза на автомобильные шины Автомобильные шины могут попасть в перечень товаров, которые правительство собирается обложить акцизом. Участники рынка опасаются, что это может привести к росту цен Как сообщил РБК правительственный чиновник, автомобил ...
У меня очередной приступ куалонкуизмо, я совершенно не в состоянии говорить о политике, поэтому сегодня поговорим про скрепы (табличка сарказм). Про устрицы и капусту зачеркнуто про бородинский хлеб и пельмени. Крымнаш, величие, имперский шовинизм - это все понятно. Это стандартные ...
Глаголица является одним из самых древних известных человечеству алфавитов - о чем я и собираюсь, с Божьей помощью, поговорить в новой серии статей, из которых данная публикация является вводной, общей. Из последующих публикаций, которые конкретно проследят развитие европейской ...
