В РФ ведутся работы по разработке и освоению производства рентгеновских зеркал

Заметьте, я написал «ведутся работы», поскольку то, что пишут в СМИ, надо делить на 2 или 3.
https://t.me/lithography1mm/192
Если доведут до реально работающих изделий (изделия от образцов отличаются тем, что вы можете с заданными параметрами их сделать любое заказанное количество), то это будет большой шаг вперёд к рентгеновскому литографу следующего поколения. То, что делает ASML, пытаться полностью скопировать глупо. Надо делать литограф на существенно меньшую длину волны.