Производство фотошаблонов

twower — 09.10.2013

На днях довелось побывать в Центре проектирования, каталогизации и производства фотошаблонов в подмосковном Зеленограде. Данный Центр построен при участии ОАО «Росэлектроника» в рамках Федеральной целевой программы «Развитие электронной компонентной базы и радиоэлектроники на 2008–2015 годы» в 2006 году.
Зачем нужна данная федеральная программа доходчиво разъясняет выдержка из официальной справки:

При размещении заказа на иностранных производствах существует угроза несанкционированного копирования фотошаблонов, что нарушает авторские права разработчиков и обесценивает интеллектуальный продукт РФ, а также есть возможность внесения несанкционированных изменений в топологию фотошаблонов, что несет прямую угрозу обороноспособности государства, так как данные изменения (так называемые «закладки») позволяют дистанционно влиять на режим работы электронных систем.

Любая микросхема делается при помощи фотошаблонов. Схема может содержать от 15 до 40 слоев в зависимости от топологии. В комплекте может быть до 20-40 стекол с топологией. На стекле не допускается ни одного дефекта размером более установленного (как правило, не более 0.5 микрона), поскольку даже один дефект на весь комплект из 40 шаблонов приведет к невозможности работы микросхемы. Получившиеся микросхемы используются где угодно: от утюга до самолета.

Образец фотошаблона


Фотошаблон стоит в среднем от 1500 до 15 000 евро. Есть и более дорогие варианты. Одно стекло из комплекта с проектной нормой 180 нм будет стоить, в среднем, 4300 долларов, а с проектной нормой 90 нм – до 30 тысяч долларов.
Само производство находится в относительно небольшой, т.н. «чистой комнате». Это специальное помещение, где поддерживается постоянная температура с точностью ~0.5 градусов, с постоянной влажностью +/-5% и обеспечивается отсутствие инородных частиц в воздухе.

Рабочее место поиска и устранения дефектов




На подготовку информации (в ходе которой осуществляется поиск ошибок в представленном заказчиком исходном материале) уходит 1-2 дня, затем экспонирование (от 3 до 8 часов), затем порядка 2 часов идет обработка, дальше контроль топологии. Итого уходит 2-3 дня на изготовление одного шаблона. На изготовление заказа, в котором нет ошибок, уходит примерно 10 дней. Работает 10 человек в одну смену.

Контроль позиционирования элементов на шаблоне




Каждое конкретное изделие является уникальным, производство не является серийным, т.к. для печати множества микросхем нужен только один комплект шаблонов.

Термообработка фотошаблона


В Центре работают специалисты из Московского государственного института электронной техники.

Химическая обработка фотошаблона


Здесь немало уникального для нашей страны оборудования. Так, например, здесь имеются единственные в России: литограф электронно-лучевой с изменяемой геометрией луча, метрологическая станция.
По своему же уровню производство абсолютно аналогично зарубежному уровня 180 нм.

Финишная химическая очистка фотошаблона


На сегодняшний день у Центра имеется около 60 заказчиков по всей России, из них порядка 20 заказывают шаблоны регулярно, каждый месяц. Зарубежных заказчиков нет, т.к. там хватает своих фабрик (в Европе 4, на Тайване еще больше).

Оставить комментарий

Популярные посты:

• Ранее
• Архив