Новости в области "макроэлектроники."

топ 100 блогов engineering_ru26.10.2013 Оригинал взят у  Новости в области макроэлектроники. solar_front в Готовы ли Вы клеить телевизор как обои на всю стену?
Это касается нас всех: грядет новая волна в области дисплеев.
Материалы и технологии использовавшиеся в последнее десятилетие для сотовых, мониторов и телевизоров исчерпали себя: они не позволяют делать дисплеи больше и четче. Поэтому эта новость важна.

AMAT (Applied Materials) это чрезвычайно большой и потому важный игрок на рынке оборудования для производства ваших падов и моников.
Applied Materials начал предлагать три новых установки предназначенных для получения тонкопленочных транзисторов (TFT) на основе металлических окислов. Одна установка PECVD (Plasma-enhanced chemical vapor deposition ) и две PVD (Physical vapor deposition ), имеют новый дизайн и техпроцесс, которые позволяют лучшую однородность пленок с меньшим количеством дефектов и разработаны для производства IGZO транзисторов. Производство дисплеев в настоящий момент переключается TFT основанные на металлических оксидах, и IGZO (индийцинковая окись галлия). Переход осуществляется потому, что требуется большее разрешение дисплеев чем 300 dpi. Производители дисплеев постеперрно переходят от  TFT переключателей на основе аморфного кремния к транзисторам на  металлических окислах или к поликремнию полученному при низкой температуре (LTPS), которые предлагают более высокую подвижность носителей заряда. Они также потребляют меньше энергии, что важно в мобильных устройствах. Кроме того они меньше размером и блокируют меньше света в пикселе.

 Новости в области макроэлектроники.
(Поперечное сечение TFT. От TFT на аморфном кремнии (a-Si:H) к новым материалам: IGZO  и LTPS. GI = gate insulator)


LG уже начала поставки 55 дюймого OLED телевизора с TFT на оксидах металла и в 2014 основные игроки тоже начнут переход к оксидам материалам.

Слои в транзисторе IGZO (см рисунок - структура справа-вверху) получена с помощью PVD и РЕCVD. Рисунок 2 показывает поперечное сечение устройства. При помощи PVD "пылится" затвор транзистора (Gate) на стеклянной подложке. Изолятор поверх затвора осажден в  PECVD.  IGZO и ESTL - PVD.  Сток и исток, а также пассивация в конце - снова  РЕCVD.

Итак, как выглядит "новая":) машина от AMAT - Applied AKT 55KS PECVD:
 Новости в области макроэлектроники.
(т.к. я "целовал" эту коробку два года, то добавлю: Справа - это Load-lock причем двойной (верх и низ - разные камеры) для огромных стеклянных подложек 2.2 м на 2.5 м. Светлые блоки сверху - это камеры осаждения, под камерами - управление и нагрев/охлаждение электрода. Между камерами находится вакуумная камера с роботом для транспортировки стеклянных "подложек" в 6 кв. м.)

Чтобы дать Вам представление об этой "микроэлектронике" приведу картинку другой модификации от AMAT (хотя на самом деле это корейские камеры :)):
 Новости в области макроэлектроники.

Устройство камеры осаждения:
 Новости в области макроэлектроники.
То, что на рисунке скромно обозначено как дефлектор - на самом деле огромная плата с отверстиями для газа участвующего в процессе осаждения. Эта алюминиваямая плата настолько сложна, что в ней нет одинаковых отверстий  (диаметр входного отверстия 0.8, выходного около 8 мм). А т.к. отверстия расположены вплотную их там тысячи. Но это не все рельеф платы сложен и в горизонтальной плоскости с точностью до микрометра.

Очевидно, что такие навороты не дешевы. Стоимость такого электрода - многие сотни тысяч $. Да и на моей памяти я не помню детали из этих камер дешевле 50 к$.

Теперь о PVD установке. - Applied AKT-PiVot 55K DT. Система использует не плоские, вращающие катоды. Последние более эффективно распыляют материал мишени, обеспечивают большую однородность получаемой пленки. Насколько "чиста" работавшая мишень красноречиво показывает фото:
 Новости в области макроэлектроники.
(хотя справедливости ради надо сказать, что AMAT  видимо долго искал столь грязную для плоского катода и похоже на то, что это пленка у электрической дуги, где говорить об однородности нельзя).

Не будем забывать, что производители дисплеев спят и видят добраться первыми до сундука с сокровищами в виде производства гибких дисплеев. Скорей бы уже: вот когда производители оборудования по нанесению пленок озолотятся!

Оставить комментарий

Предыдущие записи блогера :
Архив записей в блогах:
Только что вернулись, отмечали 50-летие друга Вкусно! На 9 по 10-бальной шкале. В основном морепродукты,но есть и антрекот, филе. Причем,антрекот гораздо вкуснее,чем в специализированных мясных ресторанах. Во всяком случае,в Дорис Кацавим и Рак ...
Оригинал взят у macos в Глазами иностранцев: Россия как книги о раке - не читайте ничего старше двух лет Продолжаем рубрику "Они о нас". Сегодня перевожу довольно любопытные, но практически анонимные заметки. Пользователь одного из туристических форумов с ником ECHNATON ...
Я уже писал, что проблема борьбы с "большими" БПЛА предсказуемо "откочевала" в общеПВОшную, со всеми вытекающими (возрождение среднекалиберных ЗУ/ЗСУ, плотность и пр., пр., пр.) А вот по многочисленной и весьма "назойливой", но смертоносной мелочи нужны иные решения и я недавно упомнинал ...
относительно бесячей выскочки в гуглопочте с малопонятным содержанием "Хотя эта страница и зашифрована, отправленная вами информация будет передана по незашифрованному соединению и может быть легко доступна третьей стороне. Вы ...
Читаю в новостях: «Росказачество обнаружило в продаваемых в России пельменях сою и перемолотые кости…». Да, думаю, с гордостью: казаки могут. Перемолотые кости! Знай наших!.. Потом прочитал внимательнее: не Росказачество, а Роскачество. Пришлось вдумываться в смысл. А там ведь вот что ...